高低温真空探针台
高低温真空探针台,温度范围可选(4K-480K),适用于真空高低温环境下样品测试。 PS:探针台属于非标产品,均可根据客户需求进行定制。
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
整体规格:
载物Chuck温度范围:4.2K-480K 外置4个定位针臂 探针X-Y-Z三方向移动,行程:25mm,定位精度:10微米 最多可以外置6个定位针臂 载物chuck 最大可到2寸 双屏蔽chuck高低温时达到100FA的测试精度,针臂定位精度可以升级为0.7微米, 极限真空到10-8 torr, 可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试,可以选择防震桌,可以选择超高真空腔体。
温控规格:
控温范围:4K-480K
控温精度:0.1K
温度稳定性:4K + - 0.2 K
77K + - 0.1 K
373K + - 0.08 K
473K + - 0.1 K
823K + - 0.2K(可选)
973K + - 1.0K(可选)
常温到8K冷却时间: 1小时40分钟
8K到常温升温时间: 1小时30分钟
从常温开始的升温时间:200℃ 550℃ 700℃
(4chuck,单位分:秒):1:00 1:30 2:00
电源:直流
材质:不锈钢
功率(4chuck):850W
机械规格:
针座行程
X轴方向:25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm
Y轴方向:25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm
Z轴方向:25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm
移动精度:
X轴方向:10 micron,可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
Y轴方向:10 micron,可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
Z轴方向:10 micron,可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
探针可旋转角度:+-5度
光学部件规格:
显微镜X-Y轴方向行程:2"*2",可以选择4"*4"
总共放大倍率:240X,可以选择更高倍率
真空腔观察窗口:2 inch外部石英材质99%红外线穿过率,内部吸收红外线仅可见光通过
光源:150W可连续调节,双光纤导引
可选附件:
防震桌,方形chuck,分子泵组,Chuck可外部移动装置,射频附件,客户定制。