真空探针台

高低温真空探针台

 

高低温真空探针台，温度范围可选（4K-480K），适用于真空高低温环境下样品测试。 PS：探针台属于非标产品，均可根据客户需求进行定制。

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试：

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。 

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

    整体规格：
载物Chuck温度范围:4.2K-480K 外置4个定位针臂 探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，定位精度：10微米 最多可以外置6个定位针臂 载物chuck 最大可到2寸 双屏蔽chuck高低温时达到100FA的测试精度,针臂定位精度可以升级为0.7微米, 极限真空到10-8 torr, 可以选择射频配件做最高67 GHz的射频测试,可以选择防震桌,可以选择超高真空腔体。

温控规格：

控温范围：4K-480K

控温精度：0.1K

温度稳定性：4K  + - 0.2 K 

      77K  + - 0.1 K

      373K + - 0.08 K

      473K + - 0.1 K

      823K + - 0.2K(可选)

      973K + - 1.0K(可选)

常温到8K冷却时间: 1小时40分钟

8K到常温升温时间: 1小时30分钟

从常温开始的升温时间：200℃ 550℃ 700℃ 

(4chuck，单位分：秒)：1：00   1：30   2：00

电源：直流

材质：不锈钢

功率(4chuck)：850W

 

机械规格：

针座行程

X轴方向：25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm 

Y轴方向：25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm

Z轴方向：25.4mm(1 inch) 可以选择50.8mm

 

移动精度：

X轴方向：10 micron，可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

Y轴方向：10 micron，可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

Z轴方向：10 micron，可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron

探针可旋转角度：+-5度


光学部件规格：

显微镜X-Y轴方向行程：2"*2"，可以选择4"*4"

总共放大倍率：240X，可以选择更高倍率

真空腔观察窗口：2 inch外部石英材质99%红外线穿过率，内部吸收红外线仅可见光通过

光源：150W可连续调节，双光纤导引


可选附件：
防震桌，方形chuck，分子泵组，Chuck可外部移动装置，射频附件，客户定制。